2)第519章 京东方的求救(4k)_重生千禧大玩家
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  月期的时候就被坑惨啦,设备、零部件乃至原料全都有鬼。

  三峡工程就差点招标霓虹造假的钢铁。

  狗屁的工匠精神!

  东芝根本没法做出有效的BiCS,本来整个工艺是交替沉积氧化物(SiO)层和多晶硅(pSi)层实现的,然后在这个层堆叠中形成一个通道孔,填充氧化物—氮化物—氧化物(ONO)和pSix。

  接着沉积光刻胶,在连续的蚀刻流程后,光刻胶修整再蚀刻出个阶梯,形成互连。

  最后一步,蚀刻出一个槽再填充氧化物。

  然而问题不是出在第三步的光刻胶蚀刻,就是出在流片封测上,哪怕侥幸成功,粗粗一算,良品率低得简直令人发指——

  才6.3%!

  “陆总,东芝难道就没有一个说法吗!”

  胡煜华愤愤不平道:“这个项目我们已经砸了2.2亿美刀啊!”

  “能有什么说法?”

  陆飞拳头攥紧,积压着火:“东芝负责这个项目的技术总工割腕住院,会计卧轨死了,西田这个王八蛋把腰一弯,说句‘红豆泥斯密马赛’就想死不认账,吗的,哪有这么便宜的事!这群小霓虹我怀疑是组团忽悠我们,背地里一直在贪污研发经费。”

  “这也太无耻了吧?”

  胡煜华万万没想到东芝能这么臭不要脸,一时无语道:“那我们不是白折腾了吗?”

  “哈哈哈,不白折腾。”

  陆飞转怒为喜,“东芝敢这么干,不就欺我逻辑无能人嘛?

  可巧了,我们还真有人!

  朱一明觉得先栅极行不通,能不能试一试后栅极,交替氧化物层和氮化物层,结果他们真捣鼓出一个有别于‘BiCS’的新工艺,叫‘TCAT’,TerabitCellArrayTransistor。”

  (ps:三星就是这个工艺)

  “陆总,流片封测的结果怎么样?”

  “相当可观,良品率提高了1倍之多。”

  “天呐!!”

  胡煜华倒吸一口凉气,这项工艺如果发展顺利,完全够格入选guo家科技进步奖。

  而且,至少是二等奖!

  “嘘,保密阶段,没看庆功宴都没有吗。”陆飞做了个噤声的手势,“东芝不会知道我们背着他们偷偷成立了一个新的项目组,而且是独占,现在伱觉得这钱花的冤枉?这笔技术交叉许可亏吗?”

  “陆总,您这是一石三鸟!”

  胡煜华兴奋中带着一丝敬佩,虽然钱被贪了,项目黄了,但东芝帮复芯培养了一批闪存芯片的高精尖人才。

  正是这批人,才有了TCAT工艺。

  而且BiCS工艺也不是毫无价值,如果三星同意授权,不但能换来OLED、AMOLED面板的技术交叉许可,还能误导三星闪存的研发方向,要知道从吃透资料,到搭建试验,再到修正改进,没有个三五年,根本不可能。

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